光刻膠成分分析單位測試流程是什么?檢測項(xiàng)目及標(biāo)準(zhǔn)有哪些?檢測實(shí)驗(yàn)室可根據(jù)GOST R 52250-2004 電子工程材料.光刻工藝抗蝕劑.通用規(guī)范等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)制定試驗(yàn)方案。對(duì)光刻膠成分分析的分辨率、對(duì)比度、敏感度等項(xiàng)目進(jìn)行檢測分析。并出具嚴(yán)謹(jǐn)公正的檢測報(bào)告。

檢測項(xiàng)目：

成分分析、有效成分含量、雜質(zhì)、分辨率、對(duì)比度、敏感度、粘滯性黏度、粘附性、抗蝕性、表面張力。

適用范圍

負(fù)性光刻膠、正性光刻膠、光聚合型光刻膠、光分解型光刻膠、光交聯(lián)型光刻膠、含硅光刻膠光刻膠等。

相關(guān)檢測標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 29844-2013 用于先進(jìn)集成電路光刻工藝綜合評(píng)估的圖形規(guī)范

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檢測流程步驟

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