石英玻璃晶圓檢測一般檢測什么項目?檢測標準有哪些?檢測實驗室可依據(jù)相關(guān)標準制定試驗方案。對井彎曲度、翹曲度、尺寸偏差、表面粗糙度等項目進行檢測分析。并出具嚴謹公正的石英玻璃晶圓檢測報告。
檢測項目
平整度、彎曲度、翹曲度、尺寸偏差、表面粗糙度、內(nèi)應(yīng)力檢測、條紋檢測、顆粒不均勻性、雜質(zhì)元素含量測試等。
適用范圍
光刻用石英玻璃晶圓等。
相關(guān)檢測標準
GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圓
O?/T 3284-2015石英玻璃化學成分分析方法
GB/T 5949透明石英玻璃氣泡、氣線試驗方法
GB/T 32189氨化家單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法
JC/T185光學石英玻璃
JC/T 655石英玻璃制品內(nèi)應(yīng)力檢驗方法
檢測流程步驟
溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。
