微電子材料檢測項(xiàng)目標(biāo)準(zhǔn)及流程是什么？實(shí)驗(yàn)室可依據(jù)GB/T 14849.4-2014工業(yè)硅化學(xué)分析方法 第4部分：雜質(zhì)元素含量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)生光譜法檢測標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范中的試驗(yàn)方法，對(duì)微電子材料工業(yè)硅中雜質(zhì)元素含量檢測等項(xiàng)目進(jìn)行準(zhǔn)確測試。

檢測對(duì)象

微電子材料

檢測項(xiàng)目

工業(yè)硅中雜質(zhì)元素含量檢測

檢測標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 14849.4-2014工業(yè)硅化學(xué)分析方法 第4部分：雜質(zhì)元素含量的測定 電感耦合等離子體原子發(fā)生光譜法檢測

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檢測流程步驟

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