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GB/T39157-2020靶材技術成熟度等級劃分及定義

檢測報告圖片樣例

GB/T 39157-2020.Classification and definition of the technology readiness levels for targets.
1范圍
GB/T 39157規(guī)定了靶材技術成熟度的術語和定義、等級劃分和判定規(guī)則。
GB/T 39157適用于靶材技術成熟度評價。
2術 語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
2.1
靶材 target
在濺射沉積技術中的陰極部分。該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。
2.2
技術成熟度 technology readiness
技術滿足預期靶材應用目標的程度。
2.3
技術成熟度等級 technology readiness levels
用于衡量靶材技術滿足預期應用目標程度的尺度。
注:改寫GB/T 37264-2018,定義2.2。
2.4
技術參數(shù) technical parameter
針對某一事物在規(guī)定的檢測條件下得出的相對數(shù)據。
注:一般是指設計或生產時做出的性能測試報告。
2.5
靶材樣品 target samples
在實驗室階段,根據靶材設計要求而制備的用于測試主要性能、結構和檢驗.工藝性能的實物,具備了靶材的部分特性。
注:改寫GB/T 37264-2018,定義2.3.
2.6
靶材試制品 target developed products
在靶材工程化階段,考慮較終形式,并在實驗室環(huán)境或使用環(huán)境下,對靶材關鍵性能和功能進行測試,通過小批量或小規(guī)模制備的實物。
注:改寫GB/T 37264-2018,定義2.4。
2.7
實驗室環(huán)境 laboratory environments
實驗室的檢測和校準設施以及環(huán)境條件,用于驗證技術原理和使用功能。
2.8
模擬環(huán)境 simulation environments
模擬真實使用環(huán)境,用以驗證靶材的關鍵性能或其主要組成部分的關鍵性能。

檢測流程步驟

檢測流程步驟

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