GB 50646-2020.Technical standard for specialty gas system engineering.
1總則
1.0.1 為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設計、施工及驗收中貫徹國家現(xiàn)行法律、法規(guī),滿足產品生產要求,確保人身和財產安全、做到安全適用、技術先進、保護環(huán)境、節(jié)約能源、經濟合理,制定本標準。
1.0.2 GB 50646適用于新建、改建、擴建的電子工業(yè)的特種氣體系統(tǒng)工程中的設計、施工和驗收。
1.0.3 GB 50646不適用于特種氣體的制取、提純、 灌裝等生產及配套裝置的工程設計、施工和驗收。
1.0.4 特種氣體系統(tǒng)工程的設計、施工及驗收除應符合本標準的規(guī)定外，尚應符合國家現(xiàn)行有關標準的規(guī)定。
2術語
2.0.1 特種氣體 specialty gas
電子產品生產外延、化學氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。
2.0.2 自燃性氣體 pyrophoric gas
也稱作發(fā)火氣體,是指在空氣中等于或低于54°C時可能自燃的易燃氣體。
2.0.3 易燃性氣體 flammable gas
一種在20°C和標準壓力101. 3kPa狀態(tài)時空氣混合有一定易燃范圍的氣體。
2.0.4 劇毒性氣體 highly toxic gas
半致死濃度(空氣中吸入4h)小于或等于100mL/m3的氣體。
2.0.5 毒性氣體 toxic gas
半致死濃度(空氣中吸人4h)大于100mL/m3但不超過2500mL/m3的氣體。
2.0.6 腐蝕性氣體 corrosive gas
對材料或人體組織通過接觸產生化學反應引起可見破壞或不可逆變化的氣體。
2.0.7 氧化性氣體 oxidizing gas
一般通過提供氧氣,比空氣更能導致和促使其他物質燃燒的任何氣體。
2.0.8 惰性氣體 inert gas
在一般情況下不會與其他物質產生化學反應的氣體。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。