GB/T 38447-2020.Micro-electromechanical system technology- Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration.
1范圍
GB/T 38447規(guī)定了MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗的試驗方法,包括設(shè)備、試驗環(huán)境、樣品要求、試驗條件和試驗步驟。
GB/T 38447適用于MEMS結(jié)構(gòu)的共振疲勞試驗。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其較新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。.
GB/T 2298機(jī)械振動 、沖擊與狀態(tài)監(jiān)測詞匯
GB/T 10623金屬材料力學(xué)性能試驗術(shù)語
GB/T 26111微 機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)術(shù)語
3術(shù)語和定義
GB/T 2298、GB/T 10623、GB/T 26111界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。
3.1
載荷比 load ratio
周期加載中較大值和較小值的代數(shù)比。
3.2
瞬時破壞強度 instantaneous failure strength
靜態(tài)試驗或共振振動試驗在快速幅值增長過程中的破壞強度。
3.3
參考強度 reference strength
靜態(tài)強度或瞬時破壞強度。
4試驗方法
4.1總則
通過對樣品施加預(yù)期振動幅值的共振振動進(jìn)行疲勞試驗。當(dāng)樣品失效或達(dá)到預(yù)定的試驗時間或次數(shù)時,試驗結(jié)束。
4.2試驗設(shè)備
4.2.1概述
試驗設(shè)備能夠?qū)υ囼灲Y(jié)構(gòu)產(chǎn)生恒定振幅和穩(wěn)定頻率的振動。試驗系統(tǒng)由激振器、拾振傳感器(以下簡稱傳感器)、控制器和記錄儀器組成。試驗系統(tǒng)框圖如圖1所示。
4.2.2 激振器
激振器能在所需方向上對樣品施加一定振幅和頻率的振蕩力?？墒褂貌煌N類的激振器,例如,靜電、壓電、熱和電磁激振器等。激振器也可安裝在樣品中。
4.2.3拾振傳感器
拾振傳感器能夠測量樣品的運動以確定樣品試驗部位的振幅。
4.2.4 控制器
控制器可控制激振器產(chǎn)生振蕩力,以保持恒定振幅共振振動。根據(jù)樣品的振動特性,采用下列方法:
a)閉合回路法一根據(jù)傳感器測量信號的變化確定試驗部位的共振頻率,通過閉環(huán)電路維持共振頻率。
b)開環(huán)控制法一通過激勵試驗部位,在預(yù)定的共振頻率和振蕩信號幅度下試驗。
在整個試驗中,頻率和幅度的穩(wěn)定性應(yīng)保持在所需值的士3%內(nèi)。

檢測流程步驟

溫馨提示：以上內(nèi)容僅供參考使用，更多檢測需求請咨詢客服。