GB/T 38518-2020.Measurement of coating thickness on flexible film substrate.
1范圍
GB/T 38518規(guī)定了柔性薄膜基體上涂層(包含有機(jī)、無機(jī)與金屬涂層)厚度掃描電子顯微鏡測量的基本方法及原理、標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備、操作方法、數(shù)據(jù)處理的方法。
GB/T 38518適用于厚度不大于3 mm的柔性薄膜基體上厚度為10 nm~0.5 mm的涂層的厚度測量。
2規(guī)范性引用文件
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GB/T 20307-2006納米級長度的掃描電子顯微鏡測量方法通則
3基本方法及原理
3.1截面制備
針對柔性薄膜基體采用機(jī)械拋光容易發(fā)生扭曲變形或磨粒嵌入等問題,采用氬離子束拋光機(jī)可以有效對柔性薄膜基體截面進(jìn)行拋光,在掃描電子顯微鏡的二次電子像或者背散射電子像下能夠清晰區(qū)分柔性薄膜基體與基體上的涂層。
氬離子束拋光機(jī)主要由帶渦輪真空泵的樣品室和用于樣品定位的光學(xué)顯微鏡組成。拋光過程中，樣品固定在樣品座上,在光學(xué)顯微鏡下選擇樣品拋光區(qū)域,然后用遮擋板遮住樣品非目標(biāo)區(qū)域僅露出需拋光區(qū)域,抽真空后氬氣通過離子源產(chǎn)生離子束,經(jīng)加速、集束后轟擊樣品拋光區(qū)域,與樣品表面層發(fā)生碰撞,將能量傳遞給樣品表面的原子、分子而使之產(chǎn)生濺射,從而形成對樣品的拋光作用。
3.2厚度測量
用掃描電子顯微鏡在相同加速電壓和工作距離下,獲取待測樣品截面和標(biāo)準(zhǔn)樣品的二次電子像或背散射電子像,然后測量出待測樣品圖像中柔性薄膜基體上涂層的厚度和標(biāo)準(zhǔn)樣品圖像中的網(wǎng)格長度。結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)樣品的已知長度,計算涂層的厚度。
4標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備
4.1標(biāo)準(zhǔn)樣品.
采用有證書標(biāo)準(zhǔn)樣品或省級以上(含省級)計量技術(shù)機(jī)構(gòu)標(biāo)定的樣品。
4.2掃描電子顯微鏡
二次電子像分辨力優(yōu)于3 nm,背散射電子像分辨力優(yōu)于5 nn。

檢測流程步驟

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