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激光干涉儀檢測報告

檢測報告圖片

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第三方檢測報告有效期

一般檢測報告上會標(biāo)注實(shí)驗(yàn)室收到樣品的時間、出具報告的時間。檢測報告上不會標(biāo)注有效期。

激光干涉儀檢測報告如何辦理?測試哪些項(xiàng)目呢?檢測費(fèi)用價格是多少呢?下面小編為您解答。百檢也可依據(jù)相應(yīng)激光干涉儀檢測標(biāo)準(zhǔn)或者根據(jù)您的需求設(shè)計(jì)檢測方案?!驹斍樽稍儯?32-6275-2056】。做檢測,上百檢!我們只做真實(shí)檢測。

檢測周期

一般3-15個工作日,可加急。

檢測方式

可寄樣檢測、目測檢測、見證試驗(yàn)、現(xiàn)場檢測等。

檢測費(fèi)用

具體根據(jù)激光干涉儀檢測檢測數(shù)量和項(xiàng)目而定。詳情請咨詢在線客服。

檢測產(chǎn)品

0激光干涉儀簡介

激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。

1激光干涉儀維護(hù)

1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi),防止振動,儀器搬動 時,應(yīng)托住底座,以防導(dǎo)軌變形。

2、光學(xué)零件不用時,應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。

3、傳動部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分,應(yīng)用T5精密儀表油潤滑。

4、使用時,各調(diào)整部位用力要適當(dāng),不要強(qiáng)旋、硬扳。

5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態(tài)。

6、 經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲,都涂有紅漆,不要擅自轉(zhuǎn)動。

2激光干涉儀注意事項(xiàng)

1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。

2、在移動儀器時,為防止導(dǎo)軌變形,應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動。

3、儀器的光學(xué)零件在不用時,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放,以防止發(fā)霉。

4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭,利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。

5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。

6、在使用時應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況,合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。

7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿,保持其不失油。

3激光干涉儀主要特點(diǎn)

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無線遙控傳感器較長的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機(jī)床動態(tài)特性

5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測量機(jī)床時不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時間

7、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機(jī)床動態(tài)特性等。

8、激光干涉儀的光源——激光,具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。

9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。

4激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:

1. 線性:0.5ppm .

2. 測量范圍:40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力:0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. 范圍:800角秒

6. 滾動角精度:1.0角秒

7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度范圍:500um

9. 垂直度精度:1角秒

10. 溫度精度:0.2攝氏度

11.濕度精度:5%

12.壓力精度:1mmHg

5激光干涉儀應(yīng)用

(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

(2)位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計(jì)算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時可限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識。

(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補(bǔ)償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。

(4)雙軸定位精度的檢測及其自動補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運(yùn)動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。

(5)數(shù)控機(jī)床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。

6激光干涉儀分類

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。

單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。

雙頻激光干涉儀

在氦氖激光器上,加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動反射鏡移動時,含有f2的光束經(jīng)可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束,Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號表示移動方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動時會產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

7激光干涉儀介紹

激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。

英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)

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檢測流程步驟

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