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GB/T 6624-2009硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法

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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽:

標(biāo)準(zhǔn)編號:GB/T 6624-2009硅拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

標(biāo)準(zhǔn)簡介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在一定光照條件下,用目測檢驗單晶拋光片(以下簡稱拋光片)表面質(zhì)量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅拋光片表面質(zhì)量檢驗。外延片表面質(zhì)量目測檢驗也可參考本方法進(jìn)行。

英文名稱: Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

替代情況: 替代GB/T 6624-1995

中標(biāo)分類: 冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合

ICS分類: 電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

發(fā)布部門: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

發(fā)布日期: 2009-10-30

實施日期: 2010-06-01

*發(fā)日期: 1986-07-26

提出單位: 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

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