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檢測執(zhí)行標準信息一覽：
標準簡介：本標準規(guī)定了離子注入機的術語、產(chǎn)品分類、技術要求、試驗、檢驗規(guī)則和標志、包裝、運輸、貯存。本標準適用于半導體工藝用電能離子注入機。
標準號：GB/T 15862-1995
標準名稱：離子注入機通用技術條件
英文名稱：Generic specification for ion implantation equipment
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1995-01-02
實施日期：1996-08-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>電子工業(yè)生產(chǎn)設備>>L97加工專用設備
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
替代以下標準：被GB/T 15862-2012代替
起草單位：電子工業(yè)部第四十八研究所
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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