標準簡介：本標準規(guī)定了利用Si(111)晶面原子臺階高度樣品校準原子力顯微鏡z向標度的測量方法。本標準適用于在大氣或真空環(huán)境下工作的原子力顯微鏡,并且其z 向放大倍率達到較大量級,即z向位移在納米和亞納米范圍內(nèi),這是原子力顯微鏡用于檢測半導體表面,光學器件表面和其他高科技元件表面中經(jīng)常用到的檢測范圍。本標準并未指出所有可能的安全問題,在應(yīng)用本標準之前,使用者有責任采取適當?shù)陌踩徒】荡胧?并保證符合國家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件。

標準號：GB/T 27760-2011

標準名稱：利用Si（111）晶面原子臺階對原子力顯微鏡亞納米高度測量進行校準的方法

英文名稱：Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2011-12-30

實施日期：2012-05-01

中國標準分類號（CCS）：儀器、儀表>>儀器、儀表綜合>>N04基礎(chǔ)標準與通用方法

國際標準分類號（ICS）：試驗>>19.020試驗條件和規(guī)程綜合

起草單位：國家納米科學中心

歸口單位：全國納米技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 279)

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.