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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本文件規(guī)定了碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法。本文件適用于碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的定量分析，測(cè)定范圍為硼含量不小于5×1013 cm-3、鋁含量不小于5×1013 cm-3、氮含量不小于5×1015 cm-3，元素濃度（原子個(gè)數(shù)百分比）不大于1%。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 41153-2021
標(biāo)準(zhǔn)名稱：碳化硅單晶中硼、鋁、氮雜質(zhì)含量的測(cè)定 二次離子質(zhì)譜法
英文名稱：Determination of boron,aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2021-12-31
實(shí)施日期：2022-07-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：冶金>>金屬化學(xué)分析方法>>H17半金屬及半導(dǎo)體材料分析方法
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：冶金>>77.040金屬材料試驗(yàn)
起草單位：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、
發(fā)布單位：國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局.
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