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GB/T4061-1983硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法

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標準簡介:本標準適用于三氯氫硅及四氯化硅氫還原在細硅芯上沉積硅多晶所生長出來的硅多晶棒。

標準號:GB/T 4061-1983

標準名稱:硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法

英文名稱:Polycrystalline silicon; Examination method; Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

標準類型:國家標準

標準性質:推薦性

標準狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1983-01-02

實施日期:1984-01-02

中國標準分類號(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H25金屬化學性能試驗方法

國際標準分類號(ICS):冶金>>金屬材料試驗>>77.040.30金屬材料化學分析

替代以下標準:被GB/T 4061-2009代替

起草單位:峨嵋半導體材料廠

歸口單位:全國半導體材料和設備標準化技術委員會

發(fā)布單位:國家標準局

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