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標準簡介：本標準規(guī)定了采用SOI硅片進行MEMS器件加工時應遵循的工藝要求和質量檢驗要求。本標準適用于硅基MEMS制造技術中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和質量檢驗。
標準號：GB/T 32814-2016
標準名稱：硅基MEMS制造技術 基于SOI硅片的MEMS工藝規(guī)范
英文名稱：Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2016-08-29
實施日期：2017-03-01
中國標準分類號（CCS）：電子元器件與信息技術>>微電路>>L55微電路綜合
國際標準分類號（ICS）：電子學>>31.200集成電路、微電子學
起草單位：西北工業(yè)大學、中機生產力促進中心
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發(fā)布單位：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫.
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