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GB/T39144-2020氮化鎵材料中鎂含量的測定二次離子質譜法

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標準簡介:本標準規(guī)定了氮化鎵材料中鎂含量的二次離子質譜測試方法。本標準適用于氮化鎵材料中鎂含量的定量分析,測定范圍為不小于5×1014cm-3。

標準號:GB/T 39144-2020

標準名稱:氮化鎵材料中鎂含量的測定 二次離子質譜法

英文名稱:Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

標準類型:國家標準

標準性質:推薦性

標準狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2020-10-11

實施日期:2021-09-01

中國標準分類號(CCS):冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法

國際標準分類號(ICS):冶金>>77.040金屬材料試驗

起草單位:中國電子科技集團公司第四十六研究所、北京聚睿眾邦科技有限公司、東莞市中鎵半導體科技有限公司、有色金屬技術經(jīng)濟研究院、廈門市科力電子有限公司

歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全

發(fā)布單位:國家市場監(jiān)督管理總局.

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