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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用惰性氣體熔融及紅外技術(shù)測試硅材料中氧含量的方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于不同導(dǎo)電類型、不同電阻率范圍的硅單晶、多晶硅中氧含量的測試，測試范圍為2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。 注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子數(shù)計。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 38976-2020
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅材料中氧含量的測試 惰性氣體熔融紅外法
英文名稱：Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2020-07-21
實施日期：2021-06-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：冶金>>金屬化學(xué)分析方法>>H17半金屬及半導(dǎo)體材料分析方法
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：冶金>>77.040金屬材料試驗
起草單位：有研半導(dǎo)體材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院、北京聚睿眾邦科技有限公司、廈門銀固美能源科技有限公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全
發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.
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