標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：GB/T 5226的本部分規(guī)定了半導(dǎo)體設(shè)備相關(guān)的制造、測(cè)量、組裝和測(cè)試的電氣、電子和可編程電子設(shè)備及系統(tǒng)的安全要求。?? 注1： 本部分中的“電氣”一詞包括電氣、電子和可編程電子設(shè)備三方面(如電氣設(shè)備是指電氣設(shè)備、電子設(shè)備和可編程電子設(shè)備)。?? 注2： 就本部分而言“人”(Person)一詞泛指任何個(gè)人包括受用戶或其代理指派使用和管理上述設(shè)備的人。?? 本部分所論及的設(shè)備是從機(jī)械電氣設(shè)備的電源引入處開(kāi)始的(見(jiàn)5.1)。?? 注3： GB/T 16895系列標(biāo)準(zhǔn)給出了建筑物電氣裝置的要求。?? 本部分適用的電氣設(shè)備或電氣設(shè)備部件其標(biāo)稱電壓不超過(guò)1 000 Va.c.或1 500 Vd.c.額定頻率不超過(guò)200 Hz。對(duì)于更高的電壓或頻率可能需要特殊的要求。?? 注4： 電氣設(shè)備內(nèi)部派生電壓超過(guò)上述電源電壓限值仍屬本部分的范圍內(nèi)。?? 本部分包括針對(duì)電氣安全隱患的防護(hù)措施和針對(duì)非電氣安全隱患的電氣聯(lián)鎖保護(hù)電路但不涵蓋由其他標(biāo)準(zhǔn)或法規(guī)規(guī)定的對(duì)人身安全保護(hù)的所有要求(如化學(xué)品危險(xiǎn)、機(jī)械危險(xiǎn)、輻射危害)。每種類(lèi)型的機(jī)械適應(yīng)其特定要求以提供足夠的安全。?? 下列半導(dǎo)體制造設(shè)備的電氣裝置應(yīng)提供附加和特殊技術(shù)要求：?? ——使用、加工或生產(chǎn)易爆材料；?? ——在易燃易爆環(huán)境中使用；?? ——當(dāng)生產(chǎn)或使用某種材料時(shí)有特殊風(fēng)險(xiǎn)；?? ——作為起重機(jī)械(包括在IEC 60204-32)。?? 本部分不包括半導(dǎo)體設(shè)備的性能或功能特性規(guī)范。本部分不涉及對(duì)人類(lèi)健康可能造成影響的源于半導(dǎo)體設(shè)備的排放(如電磁場(chǎng)噪聲)。?? 本部分沒(méi)有規(guī)定電磁兼容性(EMC)的要求。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 5226.33-2017

標(biāo)準(zhǔn)名稱：機(jī)械電氣安全 機(jī)械電氣設(shè)備 第33部分：半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)條件

英文名稱：Electrical safety of machinery—Electrical equipment of machines—Part 33:Requirements for semiconductor fabrication equipment

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2017-10-14

實(shí)施日期：2018-05-01

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（CCS）：機(jī)械>>機(jī)械綜合>>J09衛(wèi)生、安全、勞動(dòng)保護(hù)

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)（ICS）：電氣工程>>29.020電氣工程綜合

起草單位：中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司

歸口單位：全國(guó)工業(yè)機(jī)械電氣系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 231)

發(fā)布單位：國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.