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GB/T31227-2014原子力顯微鏡測(cè)量濺射薄膜表面粗糙度的方法

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用原子力顯微鏡(AFM)測(cè)量表面粗糙度的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量濺射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。其他非濺射薄膜的表面粗糙度的測(cè)量可以參考此方法。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 31227-2014

標(biāo)準(zhǔn)名稱:原子力顯微鏡測(cè)量濺射薄膜表面粗糙度的方法

英文名稱:Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型:國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行

發(fā)布日期:2014-09-30

實(shí)施日期:2015-04-15

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(CCS):機(jī)械>>機(jī)械綜合>>J04基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)(ICS):計(jì)量學(xué)和測(cè)量、物理現(xiàn)象>>長(zhǎng)度和角度測(cè)量>>17.040.20表面特征

起草單位:上海交通大學(xué)、納米技術(shù)及應(yīng)用國(guó)家工程研究中心

歸口單位:全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC279)

發(fā)布單位:國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫.

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