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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級水中微粒的儀器測定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子級水中微粒的連續(xù)式或單次檢測計(jì)數(shù)，測定的粒徑大于或等于0.5μm，微粒的濃度為(0～10 000)個(gè)/mL。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 11446.9-1997
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子級水中微粒的儀器測試方法
英文名稱：Test method for particles in electronic grade water by instrument
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1997-09-01
實(shí)施日期：1998-09-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：31.030
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：GB 11446.9-1989;被GB/T 11446.9-2013代替
起草單位：中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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