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標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氯產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以工業(yè)液氯為原料，采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、高溫超導(dǎo)、鋁加工等高新技術(shù)領(lǐng)域。
標準號：GB/T 18994-2003
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 高純氯
英文名稱：Gases for electronic industry—High purity chlorine
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2003-03-05
實施日期：2003-08-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：被GB/T 18994-2014代替
起草單位：光明化工研究設(shè)計院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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