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檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體——瓶裝氧化亞氮的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硝酸銨熱分解工藝制取的氧化亞氮。該產(chǎn)品主要用于電子工業(yè)中二氧化硅的化學(xué)氣相淀積、等離子工藝。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 14600-1993
標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 氧化亞氮
英文名稱：Gases for electronic industry. Nitrous oxide
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1993-08-26
實(shí)施日期：1994-07-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 14600-2009代替
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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