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GB/T13387-1992電子材料晶片參考面長(zhǎng)度測(cè)量方法

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介:本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子材料晶片參考面長(zhǎng)度的測(cè)量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量各種直徑的硅拋光片、研磨片和切割片的參考面長(zhǎng)度。也適用于測(cè)量砷化鎵、藍(lán)寶石和釓鎵石榴石等材料晶片的參考面長(zhǎng)度。

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 13387-1992

標(biāo)準(zhǔn)名稱:電子材料晶片參考面長(zhǎng)度測(cè)量方法

英文名稱:Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

標(biāo)準(zhǔn)類型:國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì):推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):作廢

發(fā)布日期:1992-02-19

實(shí)施日期:1992-10-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS):冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS):29.040.30

替代以下標(biāo)準(zhǔn):被GB/T 13387-2009代替

起草單位:北京有色金屬研究總院

歸口單位:全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

發(fā)布單位:國家技術(shù)監(jiān)督局

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