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標準簡介：本標準規(guī)定了電子工業(yè)用液態(tài)和氣態(tài)氮的技術要求、檢驗方法以及包裝、標志等，適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮，在超大規(guī)模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護、加壓，也用于化學氣相淀積時的載氣等。
標準號：GB/T 16944-1997
標準名稱：電子工業(yè)用氣體 氮
英文名稱：Gases for electronic industry--Nitrogen
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1997-08-13
實施日期：1998-05-01
中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體
國際標準分類號（ICS）：化工技術>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體
替代以下標準：被GB/T 16944-2009代替
起草單位：化學工業(yè)部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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