檢測(cè)報(bào)告圖片模板：
檢測(cè)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本規(guī)范規(guī)定若干種標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試圖形，用以對(duì)集成電路生產(chǎn)中所用的微圖形設(shè)備、計(jì)量儀器和工藝進(jìn)行一致的全面評(píng)估和檢測(cè)。
標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 16878-1997
標(biāo)準(zhǔn)名稱：用于集成電路制造技術(shù)的檢測(cè)圖形單元規(guī)范
英文名稱：Specification for metrology pattern cells for integrated circuit manufacture
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：1997-06-20
實(shí)施日期：1998-03-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（CCS）：電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)（ICS）：電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)
起草單位：中國科學(xué)院縮微電子中心
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局
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