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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)說明了用標(biāo)定的均勻摻雜物質(zhì)確定單晶硅中硼的原子濃度的二次離子質(zhì)譜方法。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 20176-2006
標(biāo)準(zhǔn)名稱：表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 用均勻摻雜物質(zhì)測定硅中硼的原子濃度
英文名稱：Surface chemical analysis-Secondary-ion mass spectrometry-Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2006-03-27
實(shí)施日期：2006-11-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：儀器、儀表>>光學(xué)儀器>>N33電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>分析化學(xué)>>71.040.40化學(xué)分析
起草單位：清華大學(xué)電子工程系
歸口單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員.
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