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標準簡介：本標準規(guī)定了硅單晶切割片、研磨片和拋光片的抗彎強度測試方法。本標準適用于晶向為〈111〉和〈100〉的直拉、懸浮區(qū)熔硅單晶片的常溫下抗彎強度的測量。硅片厚度為250～900μm。
標準號：GB/T 15615-1995
標準名稱：硅片抗彎強度測試方法
英文名稱：Test method for measuring flexure strength of silicon slices
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：1995-07-12
實施日期：1996-02-01
中國標準分類號（CCS）：冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H23金屬工藝性能試驗方法
國際標準分類號（ICS）：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.01金屬材料試驗綜合
起草單位：中南工業(yè)大學
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布單位：國家技術監(jiān)督局
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