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GB/T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質(zhì)含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
標(biāo)準(zhǔn) 推薦性 現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《電子級多晶硅中基體金屬雜質(zhì)含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法》由TC203(半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會)歸口上報及執(zhí)行,主管部門為標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會。
GB/T 37049-2018主要起草單位
江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司 、青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司 、有研半導(dǎo)體材料有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、新特能源股份有限公司 、洛陽中硅高科技有限公司 。
GB/T 37049-2018主要起草人
魯文鋒 、劉曉霞 、秦榕 、孫燕 、趙而敬 、王桃霞 、趙玉 、王忠慧 、柳德發(fā) 、張園園 、銀波 、邱艷梅 、劉強(qiáng) 。
GB/T 37049-2018相近標(biāo)準(zhǔn)(計劃)
20141873-T-469 電子級多晶硅中基體金屬雜質(zhì)含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法YS/T 980-2014 高純?nèi)趸夒s質(zhì)含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法GB/T 24582-2009 酸浸取 電感耦合等離子質(zhì)譜儀測定多晶硅表面金屬雜質(zhì)20073569-T-469 酸浸取 電感耦合等離子質(zhì)譜儀測定多晶硅表面金屬雜質(zhì)GB/T 29849-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法GB/T 31854-2015 光伏電池用硅材料中金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法20100119-T-469 光伏電池用硅材料中金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法20100116-T-469 光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的電感耦合等離子體質(zhì)譜測量方法DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氫硅雜質(zhì)元素含量測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法 硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法
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